近日，由上海化工研究院領銜研發的1000公斤/年電子級高豐度硼-11同位素生產工藝在山東合益氣體股份有限公司實現穩定量產，順利獲得豐度在99.9%以上的三氟化硼-11產品，關鍵指標已趕超國外進口的同類產品，上海化工研究院的反應與精密精餾耦合工程技術在同位素分離領域又一次實現重要突破。
該項目采用苯甲醚化學交換法生產硼-11同位素，是上海化工研究院繼同位素氫-2、氮-15、氖-22、氧-18、碳-13等成功開發并實現產業化后的又一個穩定同位素產品，也是我國近幾十年研發硼同位素以來的首次國產化成功。
據介紹，上海化工研究院與山東合益公司于2020年1月正式簽訂合作協議后，以國家級同位素中心為主體，與合作方的技術團隊共同科研攻關；2021年9月完成中試；2022年3月啟動生產裝置建設。
建設期間，項目的各合作單位積極應對新冠疫情對基建供應鏈及工程進度的不利影響，確保了項目按時竣工驗收，并于2022年10月正式進入試生產階段，實現一次性開車成功，項目裝置的各關鍵工藝參數均達到指標。目前，上海化工研究院和合益公司的項目技術團隊正共同圍繞提高產品品質、發揮裝置產能等開展進一步的優化提升，為規模化生產夯實基礎。
據悉，高豐度三氟化硼-11是高端芯片、面板等制造中重要的特種氣體材料，與普通豐度三氟化硼摻雜相比，其可以顯著提升芯片的穩定性和抗干擾能力，被廣泛用于通訊、國防、航空航天等領域中。在上海化工研究院實現技術突破之前，全球僅美國和格魯吉亞擁有3套該產品的生產裝置，我國相關技術和產品完全依賴進口。該項目開發了具有自主知識產權的流程模擬計算、新型填料、反應設計、過程控制、設備選型、檢測方法等國內首創的工藝技術，不僅填補了我國在高豐度硼-11同位素產業上的空白，打破了國外龍頭企業的壟斷，還對于我國提升半導體基礎材料自給率、維護產業鏈安全具有重要意義。
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