近日，清華大學核能與新能源技術研究院新型能源與材料化學團隊將高效的巰基-乙烯點擊化學技術與多官能團金屬氧化物納米團簇光刻膠技術相結合，全球首次提出了“點擊光刻”新思路、新方法，并成功制得了超高感光度光刻膠樣品。國際權威機構的光刻測試結果表明，這種材料能在極低曝光劑量下實現(xiàn)高對比度成像。在深紫外光刻中最高感光度為7.5 mJ/cm2，與傳統(tǒng)的光刻膠體系相比所需曝光劑量降低了約20倍。
與此同時，通過低劑量電子束光刻（10-40 μC/cm2）獲得線寬分辨率為45nm的密集圖形，展示了其應用于高分辨率光刻的能力。接下來作者還對制備得到的基于點擊反應的氧化鋯光刻膠的后加工性質(zhì)、抗刻蝕能力以及圖形轉移能力等進行了初步研究。
該研究成果不但可以有力支持新型高效光刻膠的開發(fā)，更有望帶來光刻機及其配套光源系統(tǒng)設計、制造、運行的重大變革，大大降低難度和成本，有可能開辟光刻機技術新賽道，對集成電路技術進步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生深遠影響。該技術也可以在其他高效、高精度納米制造領域發(fā)揮重大作用。
上述研究成果以“巰基-乙烯點擊光刻的超高感光特性”（Exceptional Light Sensitivity by Thiol–Ene Click Lithography）為題發(fā)表在《美國化學會志》（Journal of the American Chemical Society）上。
論文的共同通訊作者為清華大學核能與新能源技術研究院新型能源與材料化學實驗室徐宏副教授和何向明研究員，第一作者為清華大學博士后王倩倩。該研究獲得國家自然科學基金項目、北京市科委項目和清華大學自主科研項目的資助。清華大學高性能計算中心提供了計算資源的支持。
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