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江蘇化工網 行業資訊 行業動態 300噸/年高端晶圓光刻膠項目即將投產
300噸/年高端晶圓光刻膠項目即將投產
  發布日期:2026-03-10

近日獲悉,鼎龍股份年產300噸高端晶圓光刻膠及湖北芯陶靜電卡盤項目聯合投產活動近日將在武漢經開區舉辦。

湖北鼎龍控股股份有限公司總部位于武漢經開區,2010年創業板上市,是一家專注于半導體工藝材料、半導體顯示材料、半導體先進封裝材料、新能源等領域“卡脖子”材料研發生產的企業。其開發的CMP拋光墊產品,打破國外壟斷,國產化替代率近80%。

光刻膠與靜電卡盤是半導體制造過程中的核心關鍵材料,其研發生產是支撐芯片技術迭代、確保半導體產業鏈自主可控的“卡脖子”技術。長期以來,國內所需的高端光刻膠與靜電卡盤基本依賴進口。鼎龍公司加強技術研發,通過光刻膠和芯陶靜電卡盤的國產化和自主化,打破國外壟斷,實現半導體供應鏈自主可控。

2023年12月25日,鼎龍股份發布公告,公司全資子公司鼎龍(潛江)新材料有限公司布局KrF/ArF光刻膠。公司擬對潛江新材料實施增資并以增資擴股方式引入兩家員工持股平臺及一家新進投資方共同投資建設年產300噸KrF/ArF光刻膠產業化項目。項目地位于湖北省潛江市江漢鹽化工業園長飛大道1號。2025年4月,公司成功發行9.1億元可轉債,其中4.8億元專項用于“年產300噸KrF/ArF光刻膠產業化項目”。

2025年12月22日,國產光刻膠廠商鼎龍股份在互動平臺上表示,公司潛江二期年產300噸KrF/ArF高端晶圓光刻膠量產線,已按計劃即將進入試運行階段,當前整體節奏良好。潛江一期30噸KrF/ArF 高端晶圓光刻膠產線具備批量化生產及供貨能力,可滿足客戶端現階段訂單需求。

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